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等離子清洗機(jī)工作原理
等離子清洗機(jī)包括一個(gè)反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。將樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi)，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體，然后氣體通入到反應(yīng)腔室內(nèi)，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物，并由真空泵抽出。
等離子清洗技術(shù)利用了等離子體在低溫條件下能夠產(chǎn)生非平衡電子、反應(yīng)離子和自由基的特性。等離子體中的高能活性基團(tuán)轟擊表面，會(huì)造成濺射、熱蒸發(fā)或光致降解。等離子體特有的清洗過程主要是基于等離子體濺射和刻蝕所帶來的物理和化學(xué)變化。
等離子清洗機(jī)清洗原理如下：
等離子體與物體表面的作用
在等離子體中除了氣體分子，離子和電子外，還存在受到能量激勵(lì)的處于激發(fā)狀態(tài)的電中性的原子或原子團(tuán)（又稱自由基），以及等離子體發(fā)射出的光線。其中的波長(zhǎng)短，能量搞得紫外光在等離子體與物質(zhì)表面相互作用有著重要的作用。下面對(duì)它們的作用分別進(jìn)行介紹。
原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng)
由于這些自由基呈電中性，存在壽命較長(zhǎng)，而且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等離子體中發(fā)揮著重要的作用。自由基的作用主要表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過程中的能量傳遞的“活化”作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結(jié)合時(shí)會(huì)形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子的同時(shí)生成新的自由基，這種反應(yīng)過程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成水，二氧化碳之類的簡(jiǎn)單分子，在另一些情況下，自由基與物體表面分子結(jié)合的同時(shí)，回釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)的推動(dòng)力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。
電子與物體表面的作用
一方面對(duì)物體表面的撞擊作用，可促使吸附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或吸附，另一方面大量的電子撞擊有利引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。由于電子質(zhì)量極小，因此比離子的移動(dòng)速度要快得多。當(dāng)進(jìn)行等離子體處理時(shí)，電子要比離子更早到達(dá)物體表面，并使表面帶有負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。
離子與物體表面的作用
通常指的是帶正電荷的陽(yáng)離子的作用，陽(yáng)離子有加速?zèng)_向帶負(fù)電荷的表面的傾向，此時(shí)物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以撞擊去除掉表面上附著的顆粒性物質(zhì)，我們把這種現(xiàn)象稱為濺射現(xiàn)象。而通過離子的沖擊作用可以極大促進(jìn)物體表面化學(xué)反應(yīng)發(fā)生的幾率。
紫外線與物體表面的反應(yīng)
紫外線具有很強(qiáng)的光能，（h）可使附著在物體表面的物質(zhì)的分子鍵發(fā)生斷裂而分解，而且紫外線具有很強(qiáng)的穿透能力，可透過物體的表層并深入達(dá)數(shù)微米而產(chǎn)生作用。
綜上所述，可知等離子清洗機(jī)是利用等離子體內(nèi)的各種具有高能量的物質(zhì)的活化作用，將吸附在物體表面的污垢徹底剝離去除。我司是中國(guó)最早一批專業(yè)從事真空及大氣低溫等離孑體(電漿)技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的等離子清洗機(jī)廠家,目前產(chǎn)品廣泛服努于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導(dǎo)體及精密制造行業(yè)在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突岀。
